1、设备中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应符合gb/t6070的规定。
2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管,分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时,应在测量口处安装电场屏蔽装置。
3、如果设备使用的主泵为扩散泵时,真空镀加工厂家,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱
4、设备的镀膜室应设有观察窗,如皋真空镀加工厂家,应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的工作情况以及其他关键部位。
5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率,提高镀膜材料的利用率,合理匹配沉积源的功率,合理布置沉积源在真空室体的位置。
6、合理布置加热装置,一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。
7、工件架应与真空室体绝缘,工件架的设计应使工件膜层均匀。
8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源,离子轰击电源应具有抑制非正常放电装置,维持工作稳定。
9、真空室接不同电位的各部分间的绝缘电阻值的大小,均按gb/t11164-1999中的4、4、6
10、其他注意事项
(1)环境温度:10-30oc
(2)相对湿度:不大于75%
(3)冷却水进水温度:不高于25oc
(4)冷却水质:城市自来水或相当的水。
(5)供电电源:380v三相50hz或220v单相50hz(由所用电器需要而定);电压波动范围:342-399v或198-231v;频率波动范围:49-51hz。
(6)设备所需的压缩空气,液氮,冷水、热水等的压力、温度,消耗量等,均应在产品使用说明书中写明。
(7)设备周围环境整洁,空气清洁,不应有引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。
真空电镀时产生掉膜的原因很多也很复杂。处理起来很棘手,可以考虑从以下几个方面排除:
1、表面清洁度
产品表面洁净度不够,可以考虑离子源清洗时业气放大、时间长点。
2、清洗过程中的问题
镀前清洗不---,或更换了清洗液。
3、工艺的问题
工艺参数是否有变动,在镀膜时间和电流上做适当调整。
4、靶材的问题
钛靶是否众毒,检查和更换。
5、真空腔是否漏气
进行一次捡漏。
6、产品表面氧化
氧化的原因很多,可以自行判断处理。
金属表面易生锈、易腐蚀是世人皆知的现象,海门真空镀加工厂家,为此,新一代型特种表面合金催化液,金属表面处理技术——真空电镀加工技术应运而生,至今已有一百多年的前史,它经过阳极溶解,阴极吸附的原理,在各种易氧化的金属器件表面构成一层保护层。所以深圳真空镀膜加工效果好为什么大家都觉得好了吗?
跟着真空镀膜加工等镀膜技术运用范畴的拓展,太仓真空镀加工厂家,其面临的技术难点有以下一些方面,例如:
1、设备出资大,真空电镀加工槽的制备技术规范高,央求严,使一般出资者望而止步;
2、一般的真空镀膜加工出产中需要直流电,动力耗费大;
3、而一般的真空镀膜加工本钱高,因运用镀层金属阳极名贵,故而绑缚其运用方案;
4、但跟着市场经济的翻开,材料表面处理运用范畴逐渐拓展,市场需要日趋火燎。
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