一、真空镀膜器材污染物的来源及清洁处理
真空镀膜器材由许多不同的零件组成,它们都是经过各种机械加工完成得,例如车、铣、刨、磨、镗、焊接等。这样,零件表面不可避免地会沾上许多加工油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物。这些污染物在真空中易挥发,影响真空镀膜设备的---压力和性能稳定性。此外,污染物的---压下吸附了大量的气体,在真空环境中,这些气体也要被释放出来,构成了---真空镀膜设备---压力的因素。为此,零件组装前必须清除掉污染物。
二、真空镀膜器材真空系统地清洗处理
1、油扩散泵真空系统地污染与---
油扩散泵真空系统是使用广泛的真空系统,其获得真空度范围为1.3*10-3~1.3*10-5pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空镀膜设备,常见的故障是真空度抽不上去或真空度抽不到原来的---压力水平。真空度抽不上去的原因需要仔细分析,可能是活动密封处松动、焊缝漏气、真空泵或真空阀门等元件损坏等原因所导致。此外,真空室内壁的油蒸汽污染,真空工艺过程各种污染物的污染也可能是主要原因。防止的方法是:定期清洗真空室。定期对油封机械真空泵和油金属扩散泵进行清理。
2、真空系统地烘烤与清洗
由溅射离子泵和钛升华泵组成的真空系统是目前获得清洁真空的主要抽气手段,能获得低于1.3*10-3pa的压力。中小型真空镀膜设备真空系统以溅射离子泵作为主泵,大型真空系统以钛升华泵做主泵。真空系统要求真空室内壁相当干净,零件表面粗糙度要求高,材料放气量要小。真空室零件要进行严格地清洁处理,不要用手接触零件表面。真空室的漏率也要严加控制。除此外,还要对真空室进行烘烤。
通常在中,真金电镀加工有很多叫法,其中也有叫真空蒸镀法,是在高度真空条件下加热金属,使其熔融、蒸腾,冷却后在被镀金属外表构成金属薄膜的办法。常用的金属是铝等低熔点金属。
置待镀金属和被镀塑料制品于真空室内,选用必定办法加热待镀资料,其中的使金属蒸腾或提高,益阳真空镀加工厂家,金属蒸汽遇到冷的金属制品外表凝集成金属薄膜。
加热金属的办法:有使用电阻发生的热能,也有使用电子束的。
在对金属制品施行蒸镀时,为了---金属冷却时所散发出的热量不使树脂变形,必须对真金电镀加工时间进行调整。此外,真空镀加工厂家,提醒一点的是熔点、沸点太高的金属或合金不适合于蒸镀。
1、设备中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应符合gb/t6070的规定。
2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管,分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时,应在测量口处安装电场屏蔽装置。
3、如果设备使用的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱
4、设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的工作情况以及其他关键部位。
5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率,提高镀膜材料的利用率,合理匹配沉积源的功率,合理布置沉积源在真空室体的位置。
6、合理布置加热装置,一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。
7、工件架应与真空室体绝缘,邵阳真空镀加工厂家,工件架的设计应使工件膜层均匀。
8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源,衡阳真空镀加工厂家,离子轰击电源应具有抑制非正常放电装置,维持工作稳定。
9、真空室接不同电位的各部分间的绝缘电阻值的大小,均按gb/t11164-1999中的4、4、6
10、其他注意事项
(1)环境温度:10-30oc
(2)相对湿度:不大于75%
(3)冷却水进水温度:不高于25oc
(4)冷却水质:城市自来水或相当的水。
(5)供电电源:380v三相50hz或220v单相50hz(由所用电器需要而定);电压波动范围:342-399v或198-231v;频率波动范围:49-51hz。
(6)设备所需的压缩空气,液氮,冷水、热水等的压力、温度,消耗量等,均应在产品使用说明书中写明。
(7)设备周围环境整洁,空气清洁,不应有引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。
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